プラズマエッチングのバックアップ(No.3) - PukiWiki

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プラズマエッチングへ行く。
- 1 (2014-08-24 (日) 23:48:49)
- 2 (2014-08-25 (月) 02:32:29)
- 3 (2014-08-26 (火) 02:02:53)

プラズマドライエッチングについて調査メモ

日本半導体歴史館
イケてる

プラズマ生成方法 †

Mgnetron RIE †

ECR †

ICP †

誘導結合型

2-req. CCP †

容量結合型

SWP †

リンク †

http://www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2007_04/jspf2007_04-319.pdf
歴史なども分かりやすい

http://www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2009_04/jspf2009_04-165.pdf
なんかいっぱい書いてある

パナソニックファクトリーソリューションズ：エッチング装置
ドライエッチング装置によるMEMS加工