プラズマエッチングのバックアップソース(No.2)

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プラズマエッチングへ行く。
- 1 (2014-08-24 (日) 23:48:49)
- 2 (2014-08-25 (月) 02:32:29)
- 3 (2014-08-26 (火) 02:02:53)

[[メモ]]

プラズマドライエッチングについて調査メモ

- [[日本半導体歴史館>http://www.shmj.or.jp/index.html]]
イケてる

* プラズマ生成方法 [#xbc03e07]

** Mgnetron RIE [#nbc428cf]
** ECR [#i2afd04c]
** ICP [#p36abafb]
誘導結合型
** 2-req. CCP [#q69790b7]
容量結合型
** SWP [#r5d2eaf7]

* リンク [#x2cd3ce4]
- [[http://www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2007_04/jspf2007_04-319.pdf]]
歴史なども分かりやすい

- [[http://www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2009_04/jspf2009_04-165.pdf]]
なんかいっぱい書いてある

- [[パナソニック ファクトリーソリューションズ：エッチング装置http://panasonic.co.jp/pfsc/technology/pdf/200803A.pdf]]
ドライエッチング装置によるMEMS加工

プラズマエッチング のバックアップソース(No.2)

プラズマエッチングのバックアップソース(No.2)