[[メモ]] プラズマドライエッチングについて調査メモ [[日本半導体歴史館>http://www.shmj.or.jp/index.html]] イケてる * プラズマ生成方法 [#xbc03e07] ** Mgnetron RIE [#nbc428cf] ** ECR [#i2afd04c] ** ICP [#p36abafb] 誘導結合型 ** 2-req. CCP [#q69790b7] 容量結合型 ** SWP [#r5d2eaf7] - [[http://www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2007_04/jspf2007_04-319.pdf]] 歴史なども分かりやすい