Lab/fabrication/トラブル
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開始行:
[[Lab/fabrication]]
*プロセスのトラブル [#q77134a4]
一覧
#contents
**ヘリコン [#fd51cfbf]
***ヘリコン内の磁石が落下する [#pb121949]
***ヘリコンのブレーカーが落ちる [#gb576790]
***4番のシャッターが干渉する(解決済み) [#s9127740]
***シャッタ(大)を使わずにプレスパッタするとスパッタされ...
***前回のレートと異なる [#x9c2739c]
***プラズマがたたない [#uad43015]
**EB描画 [#jfe070d6]
***アライメントマークが見えない [#u0754682]
-概要
基板:SiO2
アライメントマーク:NiFe(5nm)/Tiハードマスク(1nm)
光学顕微鏡では見えるが,EB(SEM)では見えない(数秒で見...
-なぜアライメントが見えるのか?
SEM像は二次電子の量の差をイメージにしたもの.
つまり,観察対象に材質の違いや形状に差がなければ像が見え...
-原因
--エッチング不足で全面金属
--金属薄膜が薄い
そこで,実際はどのよう
-推奨設計
メーカー推奨のアライメントマークは,高さ10nm以上の形状
by アグスさん情報
-該当サンプル
--KH0044
--KH0045
***レジストにクラックが発生する [#paf64ac2]
***アライメントを合わせても描画位置がずれる [#f95379a5]
**リフトオフ [#l34e7a96]
***フレークが付着する [#hb5e24bd]
***きれいにリフトオフされない [#n3a5291e]
***パターンの境界付近にある下地の金属膜(NiFe)がはがれる...
-KH0042
***蒸着したTiが見えない [#sf92788c]
***パターン部分に気泡のような斑点がある [#l9fe5913]
**ドライエッチング [#h6694475]
エッチングレートが不明
***削りきれない [#l9303651]
***AMCでエラー(マッチングされない) [#i32ed9b8]
**未分類 [#sd5e62b9]
***センサのくびれで断線 [#v09d6ed7]
***センサのくびれがずれる [#a854ee7c]
終了行:
[[Lab/fabrication]]
*プロセスのトラブル [#q77134a4]
一覧
#contents
**ヘリコン [#fd51cfbf]
***ヘリコン内の磁石が落下する [#pb121949]
***ヘリコンのブレーカーが落ちる [#gb576790]
***4番のシャッターが干渉する(解決済み) [#s9127740]
***シャッタ(大)を使わずにプレスパッタするとスパッタされ...
***前回のレートと異なる [#x9c2739c]
***プラズマがたたない [#uad43015]
**EB描画 [#jfe070d6]
***アライメントマークが見えない [#u0754682]
-概要
基板:SiO2
アライメントマーク:NiFe(5nm)/Tiハードマスク(1nm)
光学顕微鏡では見えるが,EB(SEM)では見えない(数秒で見...
-なぜアライメントが見えるのか?
SEM像は二次電子の量の差をイメージにしたもの.
つまり,観察対象に材質の違いや形状に差がなければ像が見え...
-原因
--エッチング不足で全面金属
--金属薄膜が薄い
そこで,実際はどのよう
-推奨設計
メーカー推奨のアライメントマークは,高さ10nm以上の形状
by アグスさん情報
-該当サンプル
--KH0044
--KH0045
***レジストにクラックが発生する [#paf64ac2]
***アライメントを合わせても描画位置がずれる [#f95379a5]
**リフトオフ [#l34e7a96]
***フレークが付着する [#hb5e24bd]
***きれいにリフトオフされない [#n3a5291e]
***パターンの境界付近にある下地の金属膜(NiFe)がはがれる...
-KH0042
***蒸着したTiが見えない [#sf92788c]
***パターン部分に気泡のような斑点がある [#l9fe5913]
**ドライエッチング [#h6694475]
エッチングレートが不明
***削りきれない [#l9303651]
***AMCでエラー(マッチングされない) [#i32ed9b8]
**未分類 [#sd5e62b9]
***センサのくびれで断線 [#v09d6ed7]
***センサのくびれがずれる [#a854ee7c]
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