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開始行:
[[Lab]]
*装置 [#p67632de]
**クリーンルーム [#n1e1ddb2]
***C19 [#ic605262]
***L157 [#wafc96dc]
**ヘリコンスパッタ [#ka8824fc]
***スパッタレート [#y3497983]
|ターゲット|2012/7/11以前|2012/8/18|2013/7/25|10/2|12/20|
|Ta|2.5|3.8|2.7|-|2.8|
|NiFe|3.1|3.8|1.6|2.2|2.3|
|Cu|2.3|5.3|2.3|-|2.6|
|IrMn|3.9|6.1|3.7|-|3.9|
単位は(nm/min)
2012/8/18は山口さんが出したスパッタレート.
シャッタ不使用のため,プレスパッタ(2min)のオフセットが...
**ULVAC EB蒸着機 [#x80b49c0]
**菅蒸着機 [#z85b55c5]
**EB描画装置 [#fabab5e8]
**ICPドライエッチング装置 [#bb1cd66b]
誘導結合型プラズマ(Inductively Copuled Plasma)ドライエッ...
***エッチングレート [#h349d645]
条件
- Ar 30ccm
- ステージ 20W
- アンテナ 120W
|ターゲット|エッチングレート(nm/min)|備考|
|SiOx|5.5||
|Ti|0.03~0.05?|調査中|
|Ta|0.2?||
*備品 [#ed4441fe]
終了行:
[[Lab]]
*装置 [#p67632de]
**クリーンルーム [#n1e1ddb2]
***C19 [#ic605262]
***L157 [#wafc96dc]
**ヘリコンスパッタ [#ka8824fc]
***スパッタレート [#y3497983]
|ターゲット|2012/7/11以前|2012/8/18|2013/7/25|10/2|12/20|
|Ta|2.5|3.8|2.7|-|2.8|
|NiFe|3.1|3.8|1.6|2.2|2.3|
|Cu|2.3|5.3|2.3|-|2.6|
|IrMn|3.9|6.1|3.7|-|3.9|
単位は(nm/min)
2012/8/18は山口さんが出したスパッタレート.
シャッタ不使用のため,プレスパッタ(2min)のオフセットが...
**ULVAC EB蒸着機 [#x80b49c0]
**菅蒸着機 [#z85b55c5]
**EB描画装置 [#fabab5e8]
**ICPドライエッチング装置 [#bb1cd66b]
誘導結合型プラズマ(Inductively Copuled Plasma)ドライエッ...
***エッチングレート [#h349d645]
条件
- Ar 30ccm
- ステージ 20W
- アンテナ 120W
|ターゲット|エッチングレート(nm/min)|備考|
|SiOx|5.5||
|Ti|0.03~0.05?|調査中|
|Ta|0.2?||
*備品 [#ed4441fe]
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